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發(fā)布信息

TTS系列機器人——川崎機器人

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品牌: 川崎
系列: 川崎
單價: 面議
所在地: 上海
有效期至: 長期有效
最后更新: 2023-10-19 11:15
瀏覽次數(shù): 175
詢價
店鋪基本資料信息
 
產品詳細說明

布局范例

一個單個的NT系列機器人能夠不使用軌道而只用2到3個FOUP就訪問所有的EFEM。

TTS系列機器人規(guī)格

項目 標準 選項
型號 TTS10 TTS20 -
構造 水平多關節(jié)型、伸縮水平多關節(jié)型 -
單手臂 雙手臂 -
自由度(軸) 4 5 -
動作范圍 θ1軸 (旋轉JT2) (°) 340 -
Z軸 (上下JT3) (㎜) 740 -
θ2軸 (旋轉JT4) (°) 340 -
H1軸 (旋轉JT6) (°) 340 -
H2軸( 回転JT7) (°) - 340 -
*大臂展 (mm) 1,066 -
重復性 (mm)1 ±0.1 (晶圓中心) -
無塵度2 ISO1級 -
抓手規(guī)格3 - - 邊緣夾持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分離電纜(1-5m)4 操作盒
軟件 標準軟件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手冊 使用說明書 -
通信說明書 -
通用軟件 (K-Fast) 導入說明書 -
否則 - 校準器
- 測繪傳感器

1:以ISO9283為基準。

2:于川崎的無塵間內測得。

3:標準式樣不含抓手。

4:分離電纜請從1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中選擇。

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