用途：搬運(yùn)、潔凈室
適用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運(yùn)。
高速、穩(wěn)定搬運(yùn)，提高生產(chǎn)效率。
高度柔性動(dòng)作，大幅度削減配套設(shè)備費(fèi)用。
長期保持高潔凈度，降低運(yùn)營成本。
大幅縮短生產(chǎn)線建立時(shí)間。
| 項(xiàng)目 |
規(guī)格 |
| 名稱 |
MOTOMAN-MFS2200D-3600 |
| 機(jī)型 |
YR-MFS050D-A00 |
| 構(gòu)造 |
水平多關(guān)節(jié)形(6個(gè)自由度) |
| 負(fù)載 |
50kg/手臂 |
| 重復(fù)定位精度*1 |
±0.2mm |
| 動(dòng)作范圍 |
U軸(上下軸) |
3600mm |
| S軸(回轉(zhuǎn)軸) |
-180.5°~+180.5° |
| L，R軸(前后軸) |
-1780mm~+1780mm |
| 左右運(yùn)作 |
-50mm~+50mm |
| 扭動(dòng)運(yùn)作 |
-6°~+6°(上下軸100~1750mm范圍)
-0.5°~+0.5°(以上范圍以外) |
| *大速度 |
U軸(上下軸) |
950mm/s |
| S軸(回轉(zhuǎn)軸) |
1.57rad/s,90°/s |
| L，R軸(前后軸) |
*大3600mm/s |
| 容許力矩 |
L，R軸(前后軸) |
353N·m |
| 容許慣性力矩(CD2/4) |
L，R軸(前后軸) |
71kg·m2 |
| 標(biāo)準(zhǔn)噴涂色 |
孟塞爾munsell N9.5 |
| 本體質(zhì)量 |
2430kg |
| 潔凈度*2 |
ISO4 |
| 安置環(huán)境 |
溫度 |
15~25°C |
| 濕度 |
20~80%RH(不結(jié)露) |
| 振動(dòng) |
4.9m/s2以下 |
| 其他 |
·環(huán)境沒有引火性及腐蝕性氣體，液體
·遠(yuǎn)離水
·遠(yuǎn)離電子噪音源
·安裝機(jī)器人水平面水平度在0.5mm以下 |
| 電源容量*3 |
12.0kVA |
*1：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)
*2：潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下，來確保工件搬運(yùn)面以上潔凈度。
*3：根據(jù)用途、作業(yè)形式會(huì)有所不同。
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