大動(dòng)作范圍：*大搬運(yùn)尺寸達(dá)730*920mm雙腕玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人。
手臂采用連桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高鋼性。
采用真空內(nèi)傳送帶驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)低放出氣體性能。
手臂可內(nèi)置基板傳感器用配線。

項(xiàng)目		規(guī)格	備注
名稱		SEMISTAR-VD95D
機(jī)型		XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構(gòu)造		水平多關(guān)節(jié)形(4個(gè)自由度)
動(dòng)作范圍	L，R軸(伸縮)	2300mm
	S軸(旋轉(zhuǎn))	-170°~+170°
	U軸(升降)	150mm
動(dòng)作時(shí)間*1 (*高速度運(yùn)作時(shí))	L，R軸(伸縮)	3.2秒以下	2300mm伸縮距離
	S軸(回轉(zhuǎn))	3.8秒以下	340deg旋轉(zhuǎn)距離(但L，R=0)
	U軸(升降)	2.5秒以下	150mm升降距離
重復(fù)定位精度*2		各軸±0.3mm	抓手安裝部分中心位置時(shí)
手臂抖動(dòng)精度		±0.3mm以下	水平方向，抓手安裝部分中心位置時(shí)
負(fù)載		95KG/手臂	含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4)		*大118kg·m2	含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時(shí)
耐真空度		1*10-6Pa
本體質(zhì)量		1500kg
適用控制柜式樣		ERDR-VD0095D-A00	三相AC200V，3.0kVA

1：動(dòng)作節(jié)拍不保證帶有基板時(shí)搬運(yùn)速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時(shí)，會(huì)影響動(dòng)作節(jié)拍，請(qǐng)重新設(shè)定。
2：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)的動(dòng)作重復(fù)定位精度。但有無(wú)工件時(shí)負(fù)載變動(dòng)以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內(nèi)。